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納米光子學超細微加工係統研製成功
日期：2025-05-01 19:40
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摘要：
| 納米光子學超細微加工係統研製成功 |
| 來自：中國儀器儀表信息網 時間：2006-8-18 13:45:10 |
| 中科院理化技術研究所承擔的院儀器研製項目“納米光子學超細微加工係統”近日通過中科院綜合計劃局組織的專家驗收。現場加工測試結果表明，所研製的納米光子學超細微加工係統*小加工分辨率小於80納米，加工定位精度達到10納米，*大加工範圍達到560微米，具備了良好的三維加工能力。專家組認為，該項目按照項目合同的要求，**完成了合同任務書規定的各項任務，技術指標先進。這種可同時具有納米尺度的加工分辨率和較大尺度範圍的激光加工係統尚未見報道，具有**性。在加工速度、範圍及精度方麵處於******。 與以金屬材料、半導體材料、無機非金屬材料為代表的功能性硬物質材料相比較，以有機高分子材料、無機－有機複合材料、生物材料為代表的功能性軟物質材料具有可設計的特異光學、電子學、磁學等方麵的特性及其功能的多樣性、可調諧性，可望在包括信息、生物等方麵的各種功能性器件中得到應用。與硬物質材料相比較，軟物質在可加工性方麵、特彆是微尺度三維精細加工的可能性方麵具有優勢，為此，要實現功能性軟物質器件的特色與優勢，具有三維結構的功能性軟物質器件是*有希望的突破口。本項目的研製成功，為在納米尺度上開展以有機高分子光電功能材料為主的三維器件的研究建立了高水平的技術平台。 納米光子學超細微加工係統是理化所段宣明研究員負責完成的。他領導的有機納米光子學研究組已成功製備了二氧化鈦、硫化鎘高分子納米複合材料的三維光子晶體，觀測到其光子晶體帶隙，並在光子晶體激光器的激射行為研究方麵獲得進展，為微納尺度光子學器件研究打下了較好的基礎。 |
