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有源電力濾波裝置在單晶爐中的應用

日期:2025-08-07 05:06
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摘要:

矽製造工藝的核心設備是單晶爐,而單晶矽的生產工藝分熔融加熱和直流加熱,熔融加熱多采用中頻加熱爐,直拉式單晶多采用直流加熱爐。無論是中頻爐還是直流爐加熱,均采用半導體可控整流方式,它們本身工作過程中會產生非常大量電流諧波,對電網造成諧波汙染,這些諧波使得精密儀器精度失準甚至誤動作,破壞了係統的無功補償,造成係統供電損耗的增加及損壞補償電容器等,對於單晶矽複雜的生產過程以及後期的精密加工流程都造成非常大的影響。因此,電能質量間接決定著單晶矽成品材料的品質,幾乎所有的單晶矽製造生產線都麵臨諧波汙染問題,用戶必須對其進行諧波治理

某光伏組件矽片生產廠家的單晶爐運行時,大量的中頻爐以及部分大功率開關電源在工作過程中產生了大量的諧波電流,同時由於低壓母線端的無功集中補償參數及選型的不匹配,造成諧波放大及電壓和功率因數的振蕩,嚴重影響產品合格率。

諧波治理措施

在變壓器的二次側進行集中諧波治理,安裝了1KYYLB0.4-150/3有源電力濾波裝置4#變壓器配電係中,在單晶矽爐的輸入側進行就地諧波治理,安裝了1KYYLB0.4-200/3有源電力濾波裝置。本次方案根據不同的諧波源和配電係統特點,采用就地諧波治理和集中諧波治理結合的綜合治理。諧波治理後諧波含量大量減少,**符合國家標準,電流總畸變率由29.7%下降到了2.2%,有效地處理了其產生的諧波汙染,淨化完善了其配電係統,提高了電能質量,為單晶矽爐提供了純淨穩定可靠的電源。

 

單晶矽爐加熱電源是一種大功率電源,其輸出的能量可直接為單晶爐內的石墨加熱器供電,根據單晶爐生產工藝的要求,控溫精度要求控製在±0.5℃(要求高的為±0.1℃)以內。目前比較主流的加熱電源主要是可控矽電源——可控矽整流和晶閘管調功器。其產生的諧波致使電壓電流的波動率較大,從而使整個溫控係統精度下降,嚴重影響爐內恒溫,從而影響晶體的生產,造成較高的次品率。應用KYYLB0.4-200/3有源電力濾波裝置對單晶爐加熱電源諧波治理,提高電源電流輸出精度,提高溫度控製的準確度,滿足單晶/多晶在生產階段對溫度的嚴格要求,從而降低廢品率、提高產量和提高質量。

滬公網安備 31011302004101號